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产品分类
产品简介
Bhadra™立式高温氧化炉HBO150
功能
1.高温氧化工艺
2.DCE清洗去除可动离子作用和中高温退火工艺
技术参数
适配晶圆尺寸:4,6寸
适用衬底材料:碳化硅
适用领域:功率半导体、衬底材料、科研
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Bhadra™立式高温氧化炉HBO150
功能
1.高温氧化工艺
2.DCE清洗去除可动离子作用和中高温退火工艺
技术参数
适配晶圆尺寸:4,6寸
适用衬底材料:碳化硅
适用领域:功率半导体、衬底材料、科研